- KrF・ArFを使用した各膜種、評価用微細パターンウェハ（L/S・C/H）を販売！
- カスタムパターンの製作も可能ですのでご相談ください。
| 膜 種 | 膜構造 | 備 考 |
|---|---|---|
| Th-OX | 熱酸化膜単層 | |
| TEOS-OX | PE-TEOS単膜 | |
| HDP-OX | HDP酸化膜単膜 | アニール処理有 |
| Cu | メッキCu/シードCu/バリアメタル/Th-OX | アニール処理有 |
| W | CVD-W/TiN/PE-SIO | |
| TiN | TiN/PE-SiO | |
| Ta | Ta/ThOX | |
| TaN | TaN/ThOX | |
| Poly-Si | LP-Poly-Si/ThOX | |
| PE-SiN | プラズマSiN膜単層 | |
| LP-SiN | LP-SiN単層 | |
| PE-SiO | プラズマSiO膜単層 | |
| PE-SiON | プラズマSiON単層 | |
| Low-K | 各種低誘電体膜 |