- 成膜 ⇒ フォトプロセス ⇒ エッチングプロセス ⇒ ダイシングまでの試作、実験をスピーディーにサポートします！
- 長年の実績と豊富な経験を生かし、御社の研究開発をバックアップします！
- バイオチップ，MEMSの受託製造・加工についてもご相談ください。
成膜加工
（スパッタリング・蒸着・イオンプレーティング）
金属/合金/酸化物/窒化物/炭化物など、120種類以上の材料を保有しております。
- 少量のご発注にも対応可能です。
- 熱酸化膜付けの受託加工も承ります。
- PE/LP/TH-CVD（Max Φ8″）
- 対応可能膜種：TEOS・SiO・SiN・BPSG・PSG・p-Si・a-Si・W
パターニング加工
（レジスト塗布 ⇒ 露光・現像 ⇒ ウェット&ドライエッチング）
ステッパー（i線/g線）・マスクアライナーを使用！
- 仕様に合った手法を用いてタイムリーにサポート致します。
- 露光・現像のみ/エッチングのみなど、部分ごとのサポートも可能です。
- 小径基板や角型基板の投入が可能です。（Max Φ8″）
- 少量のご発注にも対応可能です。